【2019年10月4日開催】第87回研究会「次世代パワーエレクトロニクス用基板の先進加工技術最前線(&産総研パワエレ見学会)」
SiC ,GaN,ダイヤモンドといったワイドバンドギャップ材料が,次世代の光・パワー半導体用材料と して注目されています.
しかし,これらの材料は硬度が極めて高く,また化学的・熱的にも強いという材料特 性から基板化加工が極めて難しく課題が山積しています.
そこで本研究会では,これらワイドバンドギャップ 材料開発の最新動向や最新のウェハ加工技術について各専門家の方々に講演を行って
いただきます. その後、産総研 西事業所内の先進パワエレ関連施設(結晶成長・ウェハ加工 他)の見学会を行います.
主 催:砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会
日 時:2019 年 10 月 4 日(金) 13:00~18:00
会 場:産総研西事業所 TIA 連携棟1階 TIA-nano ホール(茨城県つくば市小野川 16-1)
http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/west/tsukuba_map_w.html
交 通:つくばエクスプレス;つくば駅で下車。
「つくば駅」からのアクセス方法には、バス(「連絡便(無料)」、 「路線バス(片道:250 円)」)と「タクシー」があります。