平成27年2月，（公社）砥粒加工学会に「研磨の基礎科学とイノベーション化専門委員会（略称：KENMA研究会）」が設置されました．本専門委員会では，「温故知新」の名言に倣い，研磨の歴史・ノウハウ・技術伝承の在り方を探り，そこから次代に向けた課題の明確化とその解決手法開発に取り組むことを目指します．

(1) 研磨やCMP（Chemical Mechanical Polishing）の基礎科学を解明することを目的に，構成要素（研磨装置，研磨パッド，スラリー，コンディショナ）の影響分析を行うとともに，これらのインターラクションを科学する手法の開発とその標準化
(2) 「温故知新」の名言に倣い，先端半導体デバイスを目下のターゲットとするものではなく，研磨の歴史・ノウハウ・技術伝承の在り方を探り，そこから次代に向けた課題の明確化とその解決手法の開発
(3) 上記(1)と(2)をベースとして，研磨・CMPのさらなる高能率・高品位を具現し得るイノベーション化ツールの開発
(4) 個別企業と特定委員間の共同研究を積極的に図り，企業の研究・技術開発を支援
(5) 企業の新入社員向け基礎教育に貢献

(1)年数回の研究講演会の開催（技術交流会を含む）
(2)適宜シンポジウムや見学会の開催
(3)共同研究推進

委員長　金沢工業大学 工学部 機械工学科　畝田道雄
uneda[at]neptune.kanazawa-it.ac.jp ([at]を@にしてください)

　KENMA研究会のWEBページを開設しています．開催情報等々を掲載していますので是非ご覧ください．
　http://jsat-kenma.jp/